半導體噴淋頭，英文名Showerhead，外形為密密麻麻的分佈著幾百上千個微小的通孔的圓盤，其中用於蝕刻設備等要求極高使用場景的碳化矽（CVD-Sic）Showerhead，價格昂貴，因為加工精度問題，此類材質的該部件仍然依賴進口。

Showerhead作為半導體設備的核心零部件，其實際可以參與到半導體製備的清洗、刻蝕、沉積等關鍵工藝環節，其品質將直接影響半導體製備的工藝和產品品質。在半導體製備過程中，Showerhead廣泛應用於半導體製造工藝中的氣體分配裝置。

在實際生產中，因為使用的場景及實際要求的精度不同，目前Showerhead可以根據其材料組成分為以下兩大類：

金屬Showerhead的材質包括鋁合金、不銹鋼和鎳金屬等，其中使用最廣泛的金屬Showerhead材質是鋁合金，因為其具有良好的導熱性能，同時具有較強的抗腐蝕能力，同時其來源廣泛，且易於加工。

非金屬Showerhead的材質包括碳化矽（CVD-SIC）、單晶矽、石英玻璃和高純度陶瓷等。此類產品主要應用在晶片加工設備中，並且使用在多個關鍵工藝制程位置，其對Showerhead的材質和加工後的該零件品質尤其是其孔的一致性要求極高。

半導體技術的快速發展，對實際加工制程中的Showerhead品質要求極高。該零件上的微孔數量不僅極多，且要求其孔徑具有極高的一致性，傳統的硬質合金刀具針對此類非金屬材料的加工時磨損快，已經無法滿足產品的加工需求，超硬刀具的出現解決了這個問題。

整體硬質合金刀具加工極多孔時，因為刀具壽命問題，導致加工一個非金屬的Showerhead需要換刀，同時因其磨損較快，先後加工的微孔直徑差異較大，而且本身微孔的尺寸很小，更加加劇了刀具磨損的速度，其孔的尺寸偏差較大。而換成PCD微鑽，其耐磨性極強，加工壽命高，面對數量極多的微孔加工，由於其刀具磨損較小，加工一整個Showerhead中途不用換刀，且加工的微孔孔徑一致性好，完全可以替代其他類型刀具進行加工。

我司作為深耕超硬刀具的公司之一，經過二十多年的技術積澱，在超硬刀具的使用有著豐富的經驗，通過瞭解分析目前我國半導體加工之現狀，積極展開對此類刀具的研發，逐步替代進口刀具，與客戶共同發展，提升半導體整體的加工水準，為國家的工業進步做出貢獻，也在前行中增強自身的技術能力，擁有更強的市場競爭力，走出國門，擁抱世界。